真空鍍膜設備選購要點分析

　　真空鍍膜設備選購要點分析如下：

　　1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。

　　2、根據工藝要求選擇不同規格及類型的鍍膜設備，其類型有電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。

　　3、夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式，用戶可根據基片尺寸及形狀提出相應要求，轉動的速度范圍及轉動精度：普通可調及變頻調速等。

　　4、真空系統由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。

　　5、根據工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等)，真空測量可選擇數字式智能真空計及其優質的測量規管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀，透過率計等。

　　6、充氣方式可選用質量流量計、浮子流量計 + 針閥及相應的充氣閥門，并可選擇多路充氣管路及相應流量參數。

　　7、根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質以及所需配備相應儀表測量。

　　8、根據設備使用特點，可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。

　　9、完善的報警系統，對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。