真空鍍膜機蒸發加熱目標表面成分自由基或離子形式被蒸發，并在襯底表面處理，成膜過程(散射-島結構的迷走神經結構層狀生長)形成薄膜。

　　蒸發鍍膜成分均勻性不易保證，與特定的因素可以控制，但由于有限的原理，對非單組分涂料，蒸發鍍膜成分均勻性不好。 濺射可以簡單地理解為電子或高能激光轟擊目標的使用，使得表面成分的自由基或離子形式濺射，并沉積在襯底表面的成膜過程中，經驗，最終形成薄膜。真空鍍膜機的設備 濺射被分為許多類型，在濺射速率不同點和蒸發將成為一個主要的參數。

　　激光濺射PLD濺射涂層的成分均勻性，易于維護，和原子尺度的厚度均勻性較差(因為脈沖濺射)，晶體取向(外)生長的控制也更一般的。